نظام فراغ مع مضخة فراغ VRD16 لنظام CVD

نظرة عامة

النظام

(يمكن ضخ الفراغ في أنبوب الفرن إلى 0.6 باسكال) يتكون من شفة شفط

(عصامي) مع واجهة KF25 ، طريقة فراغ يربك عالية ، فراغ المقاومة

مقياس ، منفاخ ، قوس (محلي الصنع) ، مضخة تفريغ قم بتوصيل أنبوب الإنطلاق في

منفذ شفة ، قم بتوصيل السيليكون المقاوم بأحد طرفي الأنبوب ثلاثي الاتجاهات ،

قم بتوصيل صمام الزعنفة بالفراغ العالي بالطرف الآخر ، قم بتوصيل الزعنفة

صمام ومضخة فراغ مع تمويج Dia25 ، واستخدام سريع KF25

المشبك لمنفذ الاتصال. .

2. نظام كشف الضغط

المقاومة الفردية من النوع ZDR-I / ZDR-I-LED

مقياس الفراغ

مقياس فراغ المقاومة

(المعروف أيضًا باسم مقياس الفراغ Pirani) يستخدم ZJ-52T مستقرًا بشكل خاص

مقياس المقاومة ويطبق وضع تشغيل درجة حرارة ثابتة جديدة على

قوة ثابتة. في نفس الوقت ، يتم استخدام المعالج الدقيق للتحكم في

اللاخطية للتنظيم. المعالجة الخطية. لها خصائص

من الأداء المستقر ونطاق القياس الواسع والاستجابة السريعة والانجراف الصغير. و

تحكم تتابع قوي وموثوق يعتمد على المعالجات الدقيقة ، واتصال تسلسلي

الإخراج ، فراغ الناتج التناظرية ووظائف أخرى. مناسبة بشكل خاص ل

قياس الفراغ الخام والمنخفض والتحكم في تطبيقات الفراغ.

المعايير الفنية:

*

تنظيم التوزيع: مقياس المقاومة ZJ-52T

*

نطاق القياس: 10 5 ～ 10-1 Pa

*

عزل بصري ، ترشيح رقمي ، قدرة محسنة ضد التداخل.

*