Sales

مدير المبيعات:أندريا

البريد الإلكتروني: Andrea@tmaxlaboratory.com

ويتشات: 18250801164

تفاصيل المنتج

مصدر طاقة RF لـ PECVD

ال

يتكون نظام PECVD من فرن أنبوب ، وغرفة فراغ كوارتز ، وفراغ

ونظام إمداد الغاز ونظام إمداد طاقة بتردد لاسلكي. خاصة	تستخدم في: نمو الأغشية المعدنية الرقيقة ، والأغشية الخزفية الرقيقة ، والأغشية الرقيقة المركبة ،
الجرافين ، إلخ. من السهل إضافة وظائف ، ويمكن أن توسع وظائف مثل	تنظيف وحفر البلازما. يتميز نظام PECVD بمزايا الأغشية العالية
معدل الترسيب ، التوحيد الجيد ، الاتساق العالي والاستقرار.	المعلمات التقنية الرئيسية لإمدادات الطاقة RF:
نطاق انتاج الطاقة	0-500 واط
ينعكس أقصى	قوة
200 واط	تردد العمل
RF: 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪	استقرار القوة
+/- 0.1٪	مكون متناسق
≤-50 ديسيبل	عرض منطقة التردد اللاسلكي
0-600 ملم قابل للتعديل	طريقة المطابقة
تلقائي	وضع التبريد