مدير المبيعات: أندريا
البريد الإلكتروني: Andrea@tmaxlaboratory.com
ويشات: 18250801164
فرن PECVD 1600C مزود بنظام إمداد الغاز ونظام التفريغ
يتكون نظام PECVD من فرن أنبوبي، وغرفة كوارتز مفرغة، ونظام فراغ، ونظام إمداد الغاز، ونظام إمداد طاقة التردد اللاسلكي. يستخدم بشكل أساسي من أجل: نمو الأغشية الرقيقة المعدنية، والأغشية الرقيقة الخزفية، والأغشية الرقيقة المركبة، والجرافين، وما إلى ذلك. من السهل إضافة وظائف، ويمكن توسيع الوظائف مثل تنظيف البلازما والحفر. يتميز نظام PECVD بمزايا معدل ترسيب الفيلم العالي، والتوحيد الجيد، والاتساق العالي والاستقرار.
المعلمات التقنية التفصيلية
نموذج |
TL1600-I |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
قوة |
5 كيلو واط |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
حجم الأنبوب (OD) (مم) |
أنبوب اكسيد الالمونيوم عالي النقاء: 60 مللي متر (قطر الأنبوب) يتم وضع سدادتين للفرن على كل جانب. يمكن لسدادة الفرن أن تمنع الإشعاع الحراري في وسط أنبوب الفرن ويجب وضعها في الموضع الصحيح في الفرن قبل التسخين. |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
البعد |
1120X490X855 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
مصدر التيار |
220 فولت |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
مرحلة |
على مرحلة واحدة |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
عنصر التسخين |
1800 نموذج شريط الموليبدينوم السيليكون |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
نوع التحكم في درجة الحرارة |
استخدم أداة التحكم في درجة الحرارة لبرنامج Yudian (قياسي) 1. 30 قطعة برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل PID الذكي. 2. مع الحماية من درجة الحرارة الزائدة، سيتم قطع دائرة تسخين الفرن الكهربائي تلقائيًا عندما تكون درجة الحرارة مرتفعة أو عندما ينكسر الزوج. ON، ينطفئ مصباح ON الموجود على اللوحة، ويضيء مصباح OFF، ويكون الفرن الكهربائي محميًا بشكل محدود). 3. مع واجهة اتصال 485 (قياسية مع برنامج اختياري) 4. لديها وظيفة حماية من انقطاع التيار الكهربائي، أي أنه عندما يتم تشغيل الفرن بعد إيقاف تشغيل الطاقة، لا يبدأ البرنامج من درجة الحرارة الأولية، ولكنه يبدأ من درجة حرارة الفرن عند انقطاع التيار الكهربائي. 5. العداد لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي
(تحتاج إلى دفع مبلغ إضافي مقابل استبدال الأدوات المستوردة، اختياري)
أداة FP93 أداة EUROTHERM أداة تعمل باللمس (شيمادين، اليابان) |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
مادة الغرفة |
1. مادة الموقد مصنوعة من ألياف الألومينا متعددة البلورات عالية الجودة. 2. سطح الفرن الداخلي مطلي بطبقة ألومينا مستوردة ذات درجة حرارة عالية تبلغ 1800 درجة، مما يزيد من الانبعاثية ويجعل مجال درجة الحرارة أكثر توازناً. |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
الصمامات والشفاه |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
دقة التحكم |
+/- 1 درجة مئوية |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
مشغل |
الزناد تحول المرحلة |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
جهاز كهربائي |
تشجيانغ شينت |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
تسيطر عليها السيليكون |
106/16E سيميكرون |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
الأعلى. درجة حرارة |
1600 درجة مئوية |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
درجة الحرارة المقدرة |
1550 درجة مئوية |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
معدل التسخين |
≥20 درجة مئوية/الدقيقة (يمكن تعديلها حسب الحاجة) |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
معدل التسخين الموصى به |
≥10 درجة مئوية/الدقيقة |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
نموذج الحرارية |
النوع ب |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
طول قسم التدفئة |
300 ملم |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
درجة حرارة السطح المحيطة |
≥45 درجة مئوية |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
نظام الشفط |
نظام فراغ VS-0.1 يمكن لنظام التفريغ VS-0.1 رسم درجة الفراغ في أنبوب الفرن الأنبوبي إلى 0.1Pa (ومجهز بشاشة عرض مقياس التفريغ للمقاومة). مع شاشة عرض رقمية LED خضراء. اعتماد مضخة فراغ VRD16
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
نظام إمداد الغاز |
نظام إمداد الغاز بمقياس تدفق الغاز المعايير الفنية: ل قناة هوائية: 6 ل التحكم في التدفق الهوائي: استخدم مقياس التدفق الشامل. ل حجم الخزانة: 600X600X600mm ل مع شاشة LED ل المعلمات التقنية لمقياس الجريان الشامل:
المعلمات التقنية لجهاز التحكم في التدفق الشامل: وصف المنتج: نوع شائع، دائرة تناظرية وصف تفصيلي للمنتج: نوع عادي، دائرة تناظرية، ختم مطاطي، تحويلة أنبوبية، ليس من السهل حجبها. المؤشرات الرئيسية:
تكوين نظام إمدادات الغاز:
|
المعلمات التقنية الرئيسية لإمدادات الطاقة RF:
نطاق انتاج الطاقة |
0-500 واط |
أقصى قدر من الطاقة المنعكسة |
200 واط |
تردد العمل |
الترددات اللاسلكية: 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪ |
استقرار الطاقة |
+/-0.1% |
المكون التوافقي |
≥-50 ديسيبل |
عرض منطقة الترددات اللاسلكية |
0-600 ملم قابل للتعديل |
طريقة المطابقة |
تلقائي |
وضع التبريد |
نقاط البرد |
ضوضاء |
<50 ديسيبل |
واجهة تردد الراديو |
50Ω N-نوع |
مدخل الطاقة |
208-240 فولت، 50/60 هرتز |
ضمان
ضمان لمدة عام ودعم فني مدى الحياة
ملاحظة خاصة:
1. الأجزاء المستهلكة مثل عناصر التسخين، وأنابيب الفرن، وبوتقات العينات، وما إلى ذلك ليست ضمن فترة الضمان.
2. لا يغطي الضمان الأضرار الناجمة عن استخدام الغاز المسببة للتآكل والغاز الحمضي.
احتياطات
1. يجب ألا يكون ضغط الهواء في أنبوب الفرن أعلى من 0.02MPa
2. بسبب ارتفاع ضغط الهواء داخل أسطوانة الغاز، يجب تركيب صمام تخفيف الضغط على أسطوانة الغاز عند إدخال الغاز إلى أنبوب الفرن. لضمان السلامة، يوصى باستخدام ضغط أقل من 0.02 ميجا باسكال
3. عندما يكون أنبوب الفرن المستخدم هو أنبوب اكسيد الالمونيوم، عندما تكون درجة حرارة جسم الفرن أعلى من 1500 درجة مئوية، يجب ألا يكون أنبوب الفرن في حالة فراغ، ويجب أن يكون ضغط الهواء في أنبوب الفرن مساوياً للضغط الجوي.
4. يجب أن يكون تدفق الغاز إلى أنبوب الفرن أقل من 200 SCCM لتجنب تأثير تدفق الهواء البارد على أنبوب الفرن الساخن
5. بالنسبة لتجربة تسخين العينة، لا يوصى بإغلاق صمام العادم وصمام المدخل لنهاية شفة أنبوب الفرن. إذا كنت بحاجة إلى إغلاق صمام الغاز لتسخين العينة، فيجب عليك دائمًا الانتباه إلى مؤشر مقياس الضغط. إذا كان الضغط أكبر من 0.02 ميجاباسكال، فيجب عليك فتح صمام العادم على الفور لمنع وقوع الحوادث (مثل تمزق أنبوب الفرن، وتطاير الشفة، وما إلى ذلك).
6. لا تستخدم بوتقات الجرافيت في أنابيب الألومينا.
7. لا ينبغي استخدام عنصر التسخين MoSi2 في درجة حرارة منخفضة (400 درجة مئوية - 700 درجة مئوية) لفترة طويلة، وإلا فقد يؤدي ذلك إلى تلف عنصر التسخين.
1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية داخلية ضد الاصطدام، تغليف صندوق خشبي للتصدير الخارجي.
2 الشحن السريع، عن طريق الجو، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء للعثور على الطريقة الأنسب.
3 المسؤول عن الضرر أثناء عملية الشحن، سوف يغير جزء الضرر لك مجانًا.