فرن CVD 1600C مع نظام إمداد بالغاز ونظام فراغ

Sales

مدير المبيعات: أندريا

البريد الإلكتروني: Andrea@tmaxlaboratory.com

ويشات: 18250801164

تفاصيل المنتج

فرن PECVD 1600C مزود بنظام إمداد الغاز ونظام التفريغ

يتكون نظام PECVD من فرن أنبوبي، وغرفة كوارتز مفرغة، ونظام فراغ، ونظام إمداد الغاز، ونظام إمداد طاقة التردد اللاسلكي. يستخدم بشكل أساسي من أجل: نمو الأغشية الرقيقة المعدنية، والأغشية الرقيقة الخزفية، والأغشية الرقيقة المركبة، والجرافين، وما إلى ذلك. من السهل إضافة وظائف، ويمكن توسيع الوظائف مثل تنظيف البلازما والحفر. يتميز نظام PECVD بمزايا معدل ترسيب الفيلم العالي، والتوحيد الجيد، والاتساق العالي والاستقرار.

المعلمات التقنية التفصيلية

نموذج

TL1600-I

قوة

5 كيلو واط

حجم الأنبوب (OD) (مم)

أنبوب اكسيد الالمونيوم عالي النقاء: 60 مللي متر (قطر الأنبوب)

يتم وضع سدادتين للفرن على كل جانب. يمكن لسدادة الفرن أن تمنع الإشعاع الحراري في وسط أنبوب الفرن ويجب وضعها في الموضع الصحيح في الفرن قبل التسخين.

البعد

1120X490X855

مصدر التيار

220 فولت

مرحلة

على مرحلة واحدة

عنصر التسخين

1800 نموذج شريط الموليبدينوم السيليكون

نوع التحكم في درجة الحرارة

استخدم أداة التحكم في درجة الحرارة لبرنامج Yudian (قياسي)

1. 30 قطعة برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل PID الذكي.

2. مع الحماية من درجة الحرارة الزائدة، سيتم قطع دائرة تسخين الفرن الكهربائي تلقائيًا عندما تكون درجة الحرارة مرتفعة أو عندما ينكسر الزوج. ON، ينطفئ مصباح ON الموجود على اللوحة، ويضيء مصباح OFF، ويكون الفرن الكهربائي محميًا بشكل محدود).

3. مع واجهة اتصال 485 (قياسية مع برنامج اختياري)

4. لديها وظيفة حماية من انقطاع التيار الكهربائي، أي أنه عندما يتم تشغيل الفرن بعد إيقاف تشغيل الطاقة، لا يبدأ البرنامج من درجة الحرارة الأولية، ولكنه يبدأ من درجة حرارة الفرن عند انقطاع التيار الكهربائي.

5. العداد لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي

(تحتاج إلى دفع مبلغ إضافي مقابل استبدال الأدوات المستوردة، اختياري)

أداة FP93 أداة EUROTHERM أداة تعمل باللمس

(شيمادين، اليابان)

مادة الغرفة

1. مادة الموقد مصنوعة من ألياف الألومينا متعددة البلورات عالية الجودة.

2. سطح الفرن الداخلي مطلي بطبقة ألومينا مستوردة ذات درجة حرارة عالية تبلغ 1800 درجة، مما يزيد من الانبعاثية ويجعل مجال درجة الحرارة أكثر توازناً.

الصمامات والشفاه

دقة التحكم

+/- 1 درجة مئوية

مشغل

الزناد تحول المرحلة

جهاز كهربائي

تشجيانغ شينت

تسيطر عليها السيليكون

106/16E سيميكرون

الأعلى. درجة حرارة

1600 درجة مئوية

درجة الحرارة المقدرة

1550 درجة مئوية

معدل التسخين

≥20 درجة مئوية/الدقيقة (يمكن تعديلها حسب الحاجة)

معدل التسخين الموصى به

≥10 درجة مئوية/الدقيقة

نموذج الحرارية

النوع ب

طول قسم التدفئة

300 ملم

درجة حرارة السطح المحيطة

≥45 درجة مئوية

نظام الشفط

نظام فراغ VS-0.1

يمكن لنظام التفريغ VS-0.1 رسم درجة الفراغ في أنبوب الفرن الأنبوبي إلى 0.1Pa (ومجهز بشاشة عرض مقياس التفريغ للمقاومة).

مع شاشة عرض رقمية LED خضراء.

اعتماد مضخة فراغ VRD16

VRD16	مصطلح تقني		تخصيص
في آر دي-16	سرعة الضخ متر مكعب/ساعة (لتر/ثانية)	50 هرتز	16 م³/ساعة
			4.4 لتر/ثانية
		60 هرتز	19.2 م³/ساعة
			5.2 لتر/ثانية
	الحد من الضغط الجزئي - لا يوجد صابورة غاز (Pa)		4x10-2
	الحد من الضغط الإجمالي - لا يوجد صابورة غاز (Pa)		4x10-1
	الحد من الضغط الإجمالي - صابورة الغاز (Pa)		8x10-1
	مزود الطاقة		مرحلة واحدة / ثلاث مراحل
	قوة المحرك (كيلوواط)		0.75 كيلو واط/0.55 كيلو واط
	اتصال مدخل/مخرجDN		KF25
	طاقة إنتاج النفط		0.9-1.5 لتر
	سرعة المحرك (دورة في الدقيقة)	50 هرتز	1440 دورة في الدقيقة

نظام إمداد الغاز

نظام إمداد الغاز بمقياس تدفق الغاز

المعايير الفنية:

ل قناة هوائية: 6

ل التحكم في التدفق الهوائي: استخدم مقياس التدفق الشامل.

ل حجم الخزانة: 600X600X600mm

ل مع شاشة LED

ل المعلمات التقنية لمقياس الجريان الشامل:

واجهه المستخدم	Φ6
عرض	قاد
درجة حرارة بيئة العمل	5 ~ 45 درجة مئوية
تحكم التدفق	يتم استخدام وحدة تحكم تدفق البروتون، يرجى الاطلاع على الجزء الخلفي
أنابيب الصلب غير القابل للصدأ	Φ6 خارج X Φ4 داخل
جدول فراغ الضغط	-0.1~0.15 ميجا باسكال، 0.01 ميجا باسكال/شعبة
صمام التوقف	Φ6
التحكم في التدفق	التحكم الذكي PLC

المعلمات التقنية لجهاز التحكم في التدفق الشامل:

وصف المنتج: نوع شائع، دائرة تناظرية

وصف تفصيلي للمنتج: نوع عادي، دائرة تناظرية، ختم مطاطي، تحويلة أنبوبية، ليس من السهل حجبها.

المؤشرات الرئيسية:

يتراوح	5، 10، 20، 30، 50، 100، 200 SCCM (يمكنك اختيار أي نطاق) يرجى التأكيد عند تقديم الطلب
دقة	±1% FS
خطي	0.5% فس
التكرار	±0.2% FS
وقت الاستجابة	1S
انخفاض الضغط الجوي	<0.01 ميجاباسكال
أقصى قدر من الضغط	3 ميجابكسل
درجة حرارة بيئة العمل	5~45 درجة مئوية
إشارة الإدخال والإخراج	0~+5.00 فولت
مزود الطاقة	+15 فولت 50 مللي أمبير -15 فولت 50 مللي أمبير
أبعاد	15830110
وزن	0.9 كجم

تكوين نظام إمدادات الغاز:

مقياس الجريان البروتوني	6
مقياس الضغط الميكانيكي (النطاق -0.1~0.15MPa)	1
صمامات كروية من الفولاذ المقاوم للصدأ	6
موصلات من الفولاذ المقاوم للصدأ من خلال اللوحة	6
وصلات صمامات من الفولاذ المقاوم للصدأ	2
موصل اسطوانة الفولاذ المقاوم للصدأ	6
أنبوب بتف	30 م
خزان خلط الغاز Dia80X140MM	1
إطار الفرن	1 مجموعة

مولدات الترددات اللاسلكية / مصادر طاقة الترددات اللاسلكية

المعلمات التقنية الرئيسية لإمدادات الطاقة RF:

نطاق انتاج الطاقة	0-500 واط
أقصى قدر من الطاقة المنعكسة	200 واط
تردد العمل	الترددات اللاسلكية: 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪
استقرار الطاقة	+/-0.1%
المكون التوافقي	≥-50 ديسيبل
عرض منطقة الترددات اللاسلكية	0-600 ملم قابل للتعديل
طريقة المطابقة	تلقائي
وضع التبريد	نقاط البرد
ضوضاء	<50 ديسيبل
واجهة تردد الراديو	50Ω N-نوع
مدخل الطاقة	208-240 فولت، 50/60 هرتز

ضمان

ضمان لمدة عام ودعم فني مدى الحياة

ملاحظة خاصة:

1. الأجزاء المستهلكة مثل عناصر التسخين، وأنابيب الفرن، وبوتقات العينات، وما إلى ذلك ليست ضمن فترة الضمان.

2. لا يغطي الضمان الأضرار الناجمة عن استخدام الغاز المسببة للتآكل والغاز الحمضي.

احتياطات

1. يجب ألا يكون ضغط الهواء في أنبوب الفرن أعلى من 0.02MPa

2. بسبب ارتفاع ضغط الهواء داخل أسطوانة الغاز، يجب تركيب صمام تخفيف الضغط على أسطوانة الغاز عند إدخال الغاز إلى أنبوب الفرن. لضمان السلامة، يوصى باستخدام ضغط أقل من 0.02 ميجا باسكال

3. عندما يكون أنبوب الفرن المستخدم هو أنبوب اكسيد الالمونيوم، عندما تكون درجة حرارة جسم الفرن أعلى من 1500 درجة مئوية، يجب ألا يكون أنبوب الفرن في حالة فراغ، ويجب أن يكون ضغط الهواء في أنبوب الفرن مساوياً للضغط الجوي.

4. يجب أن يكون تدفق الغاز إلى أنبوب الفرن أقل من 200 SCCM لتجنب تأثير تدفق الهواء البارد على أنبوب الفرن الساخن

5. بالنسبة لتجربة تسخين العينة، لا يوصى بإغلاق صمام العادم وصمام المدخل لنهاية شفة أنبوب الفرن. إذا كنت بحاجة إلى إغلاق صمام الغاز لتسخين العينة، فيجب عليك دائمًا الانتباه إلى مؤشر مقياس الضغط. إذا كان الضغط أكبر من 0.02 ميجاباسكال، فيجب عليك فتح صمام العادم على الفور لمنع وقوع الحوادث (مثل تمزق أنبوب الفرن، وتطاير الشفة، وما إلى ذلك).

6. لا تستخدم بوتقات الجرافيت في أنابيب الألومينا.

7. لا ينبغي استخدام عنصر التسخين MoSi2 في درجة حرارة منخفضة (400 درجة مئوية - 700 درجة مئوية) لفترة طويلة، وإلا فقد يؤدي ذلك إلى تلف عنصر التسخين.