مدير المبيعات:أندريا
البريد الإلكتروني: Andrea@tmaxlaboratory.com
ويتشات: 18250801164
نظام مختبر CVD مع فرن أنبوب دوار مزدوج المنطقة 1500-1500C
يتكون نظام CVD من نظام إمداد الغاز + فرن أنبوب + نظام تفريغ ، ويمكن أن تصل درجة الحرارة القصوى إلى 1200 درجة و 1400 درجة و 1600 درجة و 1700 درجة. يمكن أن تكون منطقة التسخين منطقة درجة حرارة واحدة ، منطقة درجة حرارة مزدوجة ، منطقة درجة حرارة ثلاثية ، إلخ. يمكن أن يصل الفراغ النهائي إلى 10-3Pa. يمكن أن يكون نظام إمداد الغاز عبارة عن مقياس تدفق جماعي أو مقياس تدفق عائم لتنظيم التدفق. يمكن أن يكون عدد قنوات الخلط قناتين و 3 قنوات و 4 قنوات و 5 قنوات.
المعلمات التقنية التفصيلية
نموذج | 1500-1500-I 1500-1500-الثاني |
قوة | 9 كيلو واط 9 كيلو واط |
الة النفخ | بحجم |
ضياء | 60 (OD) X1400 مم Dia 80 (OD) X1400 مم |
إمداد | الجهد االكهربى |
380 فولت 380 فولت | مرحلة |
مرحلة مزدوجة المرحلة المزدوجة | الة النفخ |
أنبوب اكسيد الالمونيوم: AIO عالي النقاء | السيراميك (بما في ذلك) 99.5٪ |
تدفئة | عنصر |
أولاً | منطقة درجة الحرارة: قضيب الكربون السيليكون منطقة درجة الحرارة الثانية: قضيب الكربون السيليكون |
سرعة دوران أنبوب الفرن | مع محرك متغير السرعة غير متدرج ، |
يمكن ضبط السرعة بين (1-25 دورة في الدقيقة) | قوة المحرك 40 واط يمكن إمالة الفرن بزاوية 0-30 درجة نوع من القيادة الحزام المسنن والعتاد مراقبة الوضع أداة التحكم في درجة حرارة برنامج الطائرات بدون طيار |
(اساسي) | 1 ، 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل ذكي PID. |
2. مع حماية درجة الحرارة الزائدة ، الكهربائية | يتم قطع دائرة تسخين الفرن تلقائيًا عندما تكون درجة الحرارة |
زيادة درجة الحرارة أو كسر ، (عندما تتجاوز درجة حرارة الفرن الكهربائي | 1520 درجة أو تم تفجير المزدوج الحراري ، مرحل التيار المتردد على الدائرة الرئيسية |
سيتم قطع الاتصال تلقائيًا ، الدائرة الرئيسية مكسورة. على ، ON | الضوء على اللوحة مطفأ ومصباح OFF مضاء والحماية المحدودة |
الفرن الكهربائي). | 3 ، مع 485 واجهة اتصال (قياسي |
عند شراء البرنامج) | 4 ، مع وظيفة حماية انقطاع التيار الكهربائي ، ذلك |
هو ، عند تشغيل الطاقة بعد انقطاع التيار الكهربائي ، البرنامج | لا يبدأ من درجة حرارة البداية ولكن درجة حرارة الفرن |
يرتفع من وقت انقطاع التيار الكهربائي. | 5 ، عداد لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي |
(تحتاج إلى دفع مبلغ إضافي مقابل الاستبدال | للأدوات المستوردة ، اختياري) |
أداة FP93 |
|
أداة EUROTHERM | شاشة لمسية |
أداة | (شيمادين ، اليابان) |
مادة الفرن
1. عالية الجودة عالية النقاء الألومينا الكريستالات
فرن معالجة الألياف يتكون عن طريق الترشيح الفراغي.
2. اعتماد التكنولوجيا اليابانية للقولبة.
مراقبة
صحة
+/- 1
اثار
المرحلة تحول
اثار
كهربائي
تطبيق
تشجيانغ
chint
السيليكون
خاضع للسيطرة
106/16 سميكرون
ال
أعلى درجة حرارة في منطقتي درجة الحرارة الأولى والثانية
1500
مصنفة
درجة الحرارة في مناطق درجة الحرارة الأولى والثانية
1400
تدفئة
معدل
≤20 ℃ / دقيقة (يمكن تعديلها حسب الحاجة)
مُستَحسَن
معدل ارتفاع درجة الحرارة
≤10 ℃ / دقيقة
الحرارية
اكتب في الأول
منطقة درجة الحرارة
س
اكتب في منطقة درجة الحرارة الثانية
طول
قسم التسخين في مناطق درجة الحرارة الأولى والثانية
300 + 300 مم 300 + 300 مم
طول درجة حرارة ثابتة
450 مم 450 مم
مزود الهواء بثلاث قنوات Gx-3 (مختلط
نظام الهواء
1.1 يخرج الغاز من الاسطوانة ، هو
يتم ضغطه من خلال صمام تخفيض الضغط ، ويمر عبر أنبوب PTFE
إلى مدخل نظام إمداد الغاز ، ثم يمر عبر التدفق الشاملمتر للتحكم في تدفق الغاز ، ثم يمر عبر خزان خلط الغاز و
ثم يدخل مدخل الفرن. 1.2 2) | يتم توصيل مقياس ضغط بخزان خلط الغاز ومقياس الضغط | يتم تثبيت قرص العرض وجهاز تحكم مقياس تدفق البروتون على نفسه | |
فريق. | 1.3 | ||
يحتوي كل خط غاز على صمام إغلاق عالي الضغط من أجل السلامة. | 1.4 | ||
يعتمد مسار الغاز على مقياس تدفق كتلة الغاز عالي الدقة ، وداخل | مسار الغاز مصنوع بالكامل من أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ ، والتي لها تآكل جيد | ||
مقاومة. 1.5 | جميع الوصلات في الصندوق متصلة بحلقات من الفولاذ المقاوم للصدأ ، والتي لها | ضيق الهواء الجيد ومقاومة الضغط العالي. | |
2. المعلمات التقنية: | قناة هوائية: 3 | ||
التحكم في تدفق الغاز: | تدفق متر الشامل. | ||
أبعاد الخزانة: | 600 × 600 × 600 ملم | ||
تدفق متر الشامل | المعايير الفنية: | ||
الواجهة: Φ6 | العرض: LED | ||
درجة حرارة بيئة العمل: 5 ~ 45 درجة مئوية | تحكم التدفق: | ||
معلمات تحكم تدفق البروتون يرجى التحقق مرة أخرى | أنابيب الصلب غير القابل للصدأ: | ||
Φ6 خارج X Φ4 | فراغ الضغط | ||
الجدول: -0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال ، 0.01 | الآلام والكروب الذهنية / قسم | ||
الصمام الحابس: Φ6 التحكم في التدفق: PLC تحكم ذكي | 功率 | 3. مقياس الجريان الشامل | |
电压 | المعايير الفنية: | ||
转速 | منتج | ||
الاسم: جهاز التحكم في التدفق الشامل | منتج | ||
الوصف: النوع العادي ، الدائرة التناظرية | 6 | ||
منتج | التفاصيل: دائرة عادية ، تمثيلية ، ختم مطاطي ، تحويلة أنبوبي ، ليس من السهل | ||
الكتلة. رئيسي | المؤشرات: المدى: 5 ، 10 ، 20 ، 30 ، 50 ، 100 ، 200 ، 300 ، 500 SCCM ، 1 ، 2 ، 3 ، 5 ، 10 | SLM (يمكنك اختيار النطاق بشكل تعسفي) | |
• | الدقة: ± 1٪ F.S | ||
• | الخطي: 0.5٪ F.S | ||
• | التكرار: ± 0.2٪ F.S | ||
• | وقت الاستجابة: 1S | ||
• | انخفاض ضغط الهواء: <0.01 ميجا باسكال | ||
• | أقصى ضغط: 3 ميجابكسل | • | |
درجة حرارة بيئة العمل: 5 45 درجة مئوية | • | ||
إشارات الإدخال والإخراج: 0 ~ + 5.00 فولت | • | ||
الطاقة: + 15 فولت 50 مللي أمبير -15 فولت 50 مللي أمبير | • |
الأبعاد: 158 * 30 * 110
•
الوزن: 0.9 كجم