نظام مختبر CVD مع فرن أنبوب دوار مزدوج المنطقة 1500-1500C

Sales نظام مختبر CVD مع فرن أنبوب دوار مزدوج المنطقة 1500-1500C

مدير المبيعات:أندريا

البريد الإلكتروني: Andrea@tmaxlaboratory.com

ويتشات: 18250801164

  • :
  • :

تفاصيل المنتج  

نظام مختبر CVD مع فرن أنبوب دوار مزدوج المنطقة 1500-1500C

يتكون نظام CVD من نظام إمداد الغاز + فرن أنبوب + نظام تفريغ ، ويمكن أن تصل درجة الحرارة القصوى إلى 1200 درجة و 1400 درجة و 1600 درجة و 1700 درجة. يمكن أن تكون منطقة التسخين منطقة درجة حرارة واحدة ، منطقة درجة حرارة مزدوجة ، منطقة درجة حرارة ثلاثية ، إلخ. يمكن أن يصل الفراغ النهائي إلى 10-3Pa. يمكن أن يكون نظام إمداد الغاز عبارة عن مقياس تدفق جماعي أو مقياس تدفق عائم لتنظيم التدفق. يمكن أن يكون عدد قنوات الخلط قناتين و 3 قنوات و 4 قنوات و 5 قنوات.


المعلمات التقنية التفصيلية

نموذج

1500-1500-I 1500-1500-الثاني

قوة

9 كيلو واط 9 كيلو واط

الة النفخ

بحجم

ضياء

60 (OD) X1400 مم Dia 80 (OD) X1400 مم

إمداد

الجهد االكهربى

380 فولت 380 فولت

مرحلة

مرحلة مزدوجة المرحلة المزدوجة

الة النفخ

أنبوب اكسيد الالمونيوم: AIO عالي النقاء

السيراميك (بما في ذلك) 99.5٪

تدفئة

عنصر

أولاً

منطقة درجة الحرارة: قضيب الكربون السيليكون منطقة درجة الحرارة الثانية: قضيب الكربون السيليكون

سرعة دوران أنبوب الفرن

مع محرك متغير السرعة غير متدرج ،

يمكن ضبط السرعة بين (1-25 دورة في الدقيقة)

قوة المحرك

40 واط

يمكن إمالة الفرن بزاوية

0-30 درجة

نوع من القيادة

الحزام المسنن والعتاد

مراقبة

الوضع

أداة التحكم في درجة حرارة برنامج الطائرات بدون طيار

(اساسي)


1 ، 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة

تعديل ذكي PID.

2. مع حماية درجة الحرارة الزائدة ، الكهربائية

يتم قطع دائرة تسخين الفرن تلقائيًا عندما تكون درجة الحرارة

زيادة درجة الحرارة أو كسر ، (عندما تتجاوز درجة حرارة الفرن الكهربائي

1520 درجة أو تم تفجير المزدوج الحراري ، مرحل التيار المتردد على الدائرة الرئيسية

سيتم قطع الاتصال تلقائيًا ، الدائرة الرئيسية مكسورة. على ، ON

الضوء على اللوحة مطفأ ومصباح OFF مضاء والحماية المحدودة

الفرن الكهربائي).

3 ، مع 485 واجهة اتصال (قياسي

عند شراء البرنامج)

4 ، مع وظيفة حماية انقطاع التيار الكهربائي ، ذلك

هو ، عند تشغيل الطاقة بعد انقطاع التيار الكهربائي ، البرنامج

لا يبدأ من درجة حرارة البداية ولكن درجة حرارة الفرن

يرتفع من وقت انقطاع التيار الكهربائي.

5 ، عداد لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي

(تحتاج إلى دفع مبلغ إضافي مقابل الاستبدال

للأدوات المستوردة ، اختياري)

أداة FP93

أداة EUROTHERM

شاشة لمسية

أداة

(شيمادين ، اليابان)



مادة الفرن

1. عالية الجودة عالية النقاء الألومينا الكريستالات

فرن معالجة الألياف يتكون عن طريق الترشيح الفراغي.

2. اعتماد التكنولوجيا اليابانية للقولبة.

مراقبة

صحة

+/- 1

اثار

المرحلة تحول

اثار

كهربائي

تطبيق

تشجيانغ

chint

السيليكون

خاضع للسيطرة

106/16 سميكرون

ال

أعلى درجة حرارة في منطقتي درجة الحرارة الأولى والثانية

1500

مصنفة

درجة الحرارة في مناطق درجة الحرارة الأولى والثانية

1400

تدفئة

معدل

≤20 ℃ / دقيقة (يمكن تعديلها حسب الحاجة)

مُستَحسَن

معدل ارتفاع درجة الحرارة

≤10 ℃ / دقيقة

الحرارية

اكتب في الأول

منطقة درجة الحرارة

س

اكتب في منطقة درجة الحرارة الثانية

طول

قسم التسخين في مناطق درجة الحرارة الأولى والثانية

300 + 300 مم 300 + 300 مم

طول درجة حرارة ثابتة

450 مم 450 مم

مزود الهواء بثلاث قنوات Gx-3 (مختلط

نظام الهواء

1.1 يخرج الغاز من الاسطوانة ، هو

يتم ضغطه من خلال صمام تخفيض الضغط ، ويمر عبر أنبوب PTFE

إلى مدخل نظام إمداد الغاز ، ثم يمر عبر التدفق الشامل




متر للتحكم في تدفق الغاز ، ثم يمر عبر خزان خلط الغاز و

ثم يدخل مدخل الفرن.

1.2

2)


يتم توصيل مقياس ضغط بخزان خلط الغاز ومقياس الضغط

يتم تثبيت قرص العرض وجهاز تحكم مقياس تدفق البروتون على نفسه

فريق.

1.3

يحتوي كل خط غاز على صمام إغلاق عالي الضغط من أجل السلامة.

1.4

يعتمد مسار الغاز على مقياس تدفق كتلة الغاز عالي الدقة ، وداخل

مسار الغاز مصنوع بالكامل من أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ ، والتي لها تآكل جيد

مقاومة.

1.5

جميع الوصلات في الصندوق متصلة بحلقات من الفولاذ المقاوم للصدأ ، والتي لها

ضيق الهواء الجيد ومقاومة الضغط العالي.

2. المعلمات التقنية:

قناة هوائية: 3

التحكم في تدفق الغاز:

تدفق متر الشامل.

أبعاد الخزانة:

600 × 600 × 600 ملم

تدفق متر الشامل

المعايير الفنية:

الواجهة: Φ6

العرض: LED

درجة حرارة بيئة العمل: 5 ~ 45 درجة مئوية

تحكم التدفق:

معلمات تحكم تدفق البروتون يرجى التحقق مرة أخرى

أنابيب الصلب غير القابل للصدأ:

Φ6 خارج X Φ4

فراغ الضغط

الجدول: -0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال ، 0.01

الآلام والكروب الذهنية / قسم

الصمام الحابس: Φ6

التحكم في التدفق: PLC

تحكم ذكي

功率

3. مقياس الجريان الشامل

电压

المعايير الفنية:

转速

منتج

الاسم: جهاز التحكم في التدفق الشامل

منتج

الوصف: النوع العادي ، الدائرة التناظرية

6

منتج

التفاصيل: دائرة عادية ، تمثيلية ، ختم مطاطي ، تحويلة أنبوبي ، ليس من السهل

الكتلة.

رئيسي

المؤشرات: المدى: 5 ، 10 ، 20 ، 30 ، 50 ، 100 ، 200 ، 300 ، 500 SCCM ، 1 ، 2 ، 3 ، 5 ، 10

SLM (يمكنك اختيار النطاق بشكل تعسفي)

الدقة: ± 1٪ F.S

الخطي: 0.5٪ F.S

التكرار: ± 0.2٪ F.S

وقت الاستجابة: 1S

انخفاض ضغط الهواء: <0.01 ميجا باسكال

أقصى ضغط: 3 ميجابكسل

درجة حرارة بيئة العمل: 5 45 درجة مئوية

إشارات الإدخال والإخراج: 0 ~ + 5.00 فولت

الطاقة: + 15 فولت 50 مللي أمبير -15 فولت 50 مللي أمبير

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



الأبعاد: 158 * 30 * 110

الوزن: 0.9 كجم



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.