مكونات الركيزة بالميكروويف
1. نظرة عامة على
استخدام التبخر الفراغي للأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات، والرش، والطلاء الكهربائي، والطباعة الحجرية الضوئية، والتشذيب بالليزر، والنقش وغيرها من العمليات، ونمط المعدنة على سطح ركائز السيراميك (أو ركائز خاصة)، أثناء دمج المقاومات، والمكثفات، والمحاثات، وما إلى ذلك ، لإنتاج ركائز دوائر ذات وظائف محددة لها وظائف مثل التوصيل الكهربائي والدعم المادي وتبديد الحرارة، وتستخدم في أجهزة الموجات الدقيقة ذات الدوائر المتكاملة الهجينة.
2. ميزات المنتج
عالية التردد، عالية الدقة، الموثوقية العالية
3. المؤشرات الفنية
المواد: Al2O3.
الدقة: عرض الخط/دقة تباعد الأسطر ±2.5um.
المعدنة: مقاومات Ti، وNi، وPt، وAu، وTaN، وأفلام AuSn الجاهزة، وما إلى ذلك؛ تلبية متطلبات ربط الأسلاك الذهبية، واللحام SnPb/AuSn/AuSi/AuGe، والربط اللاصق الموصل.
أخرى: يتم الالتفاف على الجانب من خلال الثقوب (مقاومة الثقب أقل من 50 ملي أوم).
نظام الفيلم |
مقاومة القاع النموذجية |
50 -75-100 أوم/□ |
سمك نموذجي للطبقة الانتقالية |
1000 ~ 3000 أنجستروم |
|
سمك المعدن السطحي |
3 ~ 8 ميكرومتر |
|
الطباعة الضوئية |
دقة |
0.8 ميكرومتر |
دقة المحاذاة |
±1 ميكرومتر |
|
التعرض على الوجهين، التعرض للغراء السميك |
||
التكعيب |
الحد الأدنى لحجم القطع |
0.5 مم × 0.5 مم |
دقة الأبعاد |
± 50 ميكرومتر |
|
دقة محاذاة الوحدة |
±5 ميكرومتر |
|
القدرة على العملية |
الركيزة 2 × 2 بوصة يمكن أن تنتج 800 قطعة/أسبوع |
4. المنتجات النموذجية
خطوط التأخير، مخففات الرقائق، المرشحات، قارنات Lange، قارنات الاتجاه، المحاثات الحلزونية، إلخ.
5. مجالات التطبيق
الاتصالات الرادارية، والإجراءات المضادة الإلكترونية، والاتصالات عبر الأقمار الصناعية، ومعدات المسح ورسم الخرائط الدقيقة، والاتصالات اللاسلكية، والاستشعار عالي السرعة وغيرها من المجالات.